Vakumska peć se uglavnom sastoji od glavnog motora, komore peći, električnog uređaja za grijanje, zatvorenog omotača peći, vakuumskog sistema, sistema napajanja, sistema za kontrolu temperature i vanjskog transportnog vozila. Zatvoreni omotač peći zavaren je od ugljičnog čelika ili nehrđajućeg čelika, a spojne površine odvojivih dijelova zapečaćene su materijalom za vakuumsko brtvljenje. Kako bi se spriječilo deformiranje omotača peći nakon zagrijavanja i propadanje zaptivnog materijala pri zagrijavanju, školjka peći se općenito hladi vodom ili zračnim hlađenjem. Komora peći se nalazi unutar zatvorenog omotača peći. U zavisnosti od namjene peći, komora peći je opremljena različitim vrstama grijaćih elemenata, kao što su otpornici, indukcijski zavojnici, elektrode i elektronski topovi. Vakumske peći za topljenje metala opremljene su loncima, a neke su opremljene automatskim uređajima za izlivanje i manipulatorima za utovar i istovar. Vakum sistem se uglavnom sastoji od vakum pumpe, vakuum ventila i vakuum merača.