Vakumske peći su peći za vakuumsku termičku obradu, koje se dijele prema opremi za primjenu i uključuju sljedeće tipove:
Peć za vakuumsko kaljenje, peć za vakuumsko lemljenje, peć za vakuumsko žarenje, peć za vakuumsku magnetizaciju, peć za vakuumsko kaljenje, peć za vakuumsko sinterovanje, peć za vakuumsko difuzijsko zavarivanje, peć za vakuumsko karburiziranje, itd.
Prema načinu grijanja, vakuumska peć je podijeljena na vakuumsku peć, indukcijsku vakuumsku peć, vakuumsku elektrolučnu peć, vakuumsku samopotrošnu elektrolučnu peć, peć s elektronskim snopom (također poznata kao peć za elektronsko bombardiranje) i peć na plazma.