Vakumska peć, odnosno u specifičnom prostoru ložišne komore, vakuumski sistem (pažljivo montiran vakuum pumpom, vakuumskim mjernim uređajem, vakuum ventilom i drugim komponentama) služi za ispuštanje dijela materija u komoru peći, tako da se pritisak u komori peći je manji od standardnog atmosferskog pritiska, a prostor u komori peći se koristi za postizanje vakuumskog stanja, što je vakuum peć.
Vakumska peć je uređaj koji se zagrijava u vakuumskom okruženju. Komora peći se dovodi do sistema pumpe visokog vakuuma u peći zatvorenoj metalnim ili kvarcnim staklenim poklopcem. Stepen vakuuma peći može doseći 133×(10-2~10-4)Pa. Sistem grijanja u peći može se direktno zagrijati električnim zagrijavanjem otporne žice peći (kao što je volframova žica), ili se može zagrijati visokofrekventnom indukcijom. Maksimalna temperatura može dostići oko 3000 stepeni. Uglavnom se koristi za pečenje keramike, vakuumsko topljenje, otplinjavanje i žarenje električnih vakuumskih dijelova, lemljenje metalnih dijelova i zaptivanje metala i keramike.
