1200C PECVD sistem sa tri zone grejanja
1200C PECVD sistem sa tri zone grejanja

1200C PECVD sistem sa tri zone grejanja

SK2-CVD-12TPB4 je cijevna peć za PECVD sistem, koja se sastoji od 300W ili 500W RF napajanja, višekanalnog sistema preciznog protoka, vakuumskog sistema i cijevne peći. Uobičajena temperatura je 1100 stepeni Celzijusa ili niža, a njene glavne karakteristike su niska temperatura taloženja, brza brzina, dobar kvalitet filma, manje rupica i manje sklona pucanju. Idealan uređaj za uzgoj nanožica ili pripremu različitih tankih filmova CVD metodom.
Pošaljite upit
Feature

 

● Maksimalna temperatura RT{0}} stepen

● Razdvojeni tip peći, možete otvoriti peć.

● Može uvesti više od 2 kanala gasa, sa stepenom vakuuma od 10Pa koristeći mehaničku pumpu i RF napajanje od 500W za poboljšanje signala.

● Visokokvalitetni izolacijski materijali od aluminijskih keramičkih vlakana

● Preciznost kontrole temperature ±1 stepen

● Sa funkcijom alarma previsoke temperature

● Ventilator za hlađenje može smanjiti temperaturu kućišta

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimenzije: Standardna dužina zone grijanja (mm)

440mm

Dimenzije: Standardni promjer cijevi (mm)

∮60mm

Maks.temperatura

1200 stepeni, stalna radna temperatura 1100 stepeni.

napon (V)

220 1P

Tip termoelementa

K

Grijaći element

HRE žica otpora legure

Temp.Precision

±1 stepen

Stopa grijanja

0-30 stepen/min besplatno podešavanje

Materijal komore

Korištenje naprednog visokokvalitetnog materijala od mikrokristalnih vlakana od aluminijevog oksida

Struktura peći

Dvoslojna vazdušno hlađena struktura, površinska temperatura je manja od 60 stepeni

Regulator temperature

Inteligentni PID instrument za kontrolu temperature, 30 segmenata programa, SSR kontrola, funkcija samopodešavanja PID parametara; programski porast temperature, program očuvanja topline, program hlađenja

500W RF napajanje

Izlazna snaga: 5-500W ±1 stepen

RF frekvencija: 13,56MHz ±0.005%

Reflektovana snaga: do 100W

Podudaranje: Automatski

RF interfejs: 50Ω, N-tip

Hlađenje: vazdušno hlađenje

Napajanje: AC 208-240V, 50/60HZ

Sistem preciznog protoka sa 4 gasna kanala

1. Puni protok (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Tip ventila: Solenold ventil.

3. Položaj mirovanja ventila: normalno zatvoren.

4. Diferencijalni pritisak: (50-300)kpa

5. Otpornost na pritisak: 3mpa.

6. Radna temperatura: 5-45 stepen

7. Materijali: nerđajući čelik 316L.

Vakuumski sistem

5*10-3Pa

KF25 brzo spajanje, mijeh od nehrđajućeg čelika, ručni klapni ventil i prirubnica, vakumska pumpa

Sistemi sa višim vakuumom mogu biti opciono opremljeni.

image001

DOBRO DOŠLI OEM/ODM

 

Standardna dodatna oprema

 

Termo rukavice|Crucible hook|Termopar|Tube Block|Korisnički priručnik |Alati|Vakum pumpa| Kvarcna cijev |Prirubnica |Zaptivni prsten |Crijevo za plin 10mm |Nosač prirubnice, Gasni sistem, RF napajanje.

 

Opciono

 

Različite zone grijanja po vašem izboru;

Kontrola LCD ekrana osjetljivog na dodir za odabir

RS485/USB port za povezivanje računara po izboru.

 

Detaljna slika za CVD-PECVD

 

image003
500W RF napajanje
image005
Vakuumski sistem
image007
Sistem preciznog protoka sa 4 gasna kanala

 

Aplikacija

 

Ovaj uređaj se uglavnom koristi za uzgoj nanožica ili pripremu različitih rasta tankih filmova CVD metodom.

 

Garancija

 

Jedna godina garancije i doživotna tehnička podrška

Posebni savjeti:

1. Potrošni materijali kao što su grijaći element, kvarcna cijev, lončić za uzorke itd. nisu u garantnom roku.

2. Oštećenja uzrokovana upotrebom korozivnog plina i kiselog plina nisu pokrivena garancijom.

 

Popularni tagovi: 1200c tri zone grijanja pecvd sistem, Kina 1200c tri zone grijanja pecvd sistem proizvođači, dobavljači