CVD cijevna peć (Chemical Vapor Deposition)-potpuno poznata kao cijevna peć za taloženje hemijskom parom-je vrsta opreme za termičku obradu koja se široko koristi u oblastima nauke o materijalima i inženjerstva. Njegove primarne upotrebe i funkcije uključuju:
Materijalni rast i taloženje:
Uvođenjem gasne mešavine u peć, CVD cevna peć olakšava razgradnju gasova na visokim temperaturama. Nastali atomi ili molekuli zatim se talože na čvrstu podlogu, čime se omogućava proizvodnja tankih filmova, nanočestica i drugih naprednih materijala.
Termička obrada:
Pored taloženja materijala, CVD cijevna peć se može koristiti za različite termičke tretmane-kao što su kalcinacija praha, sinteriranje keramike, eksperimentiranje na visokim-ima i opća obrada materijala-u širokom spektru materijala, uključujući keramiku, metale, elektroniku, staklo, kemikalije, materijale za regeneraciju i građevinske mašine.
Priprema tankog filma:
Ovo uključuje pripremu metalnih filmova, poluvodičkih filmova, optičkih filmova i sličnih materijala. Preciznom kontrolom reakcionih uslova i snabdevanja materijalom, mogu se dobiti tankoslojni materijali-koji imaju specifična svojstva i strukture.
Priprema nanomaterijala:
Peć omogućava proizvodnju nanomaterijala kao što su nanočestice i nanožice. Prilagođavanjem parametara reakcije i materijala supstrata mogu se sintetizirati nanomaterijali različitih morfologija i dimenzija.
Primene u industriji poluprovodnika:
Unutar industrije poluprovodnika,CVD cijevne pećiigraju ključnu ulogu u kritičnim procesima kao što su taloženje tankih{0}}filmova, čišćenje pločica i površinska obrada.
metalurgija praha:
Oprema je primenljiva u oblasti metalurgije praha, gde olakšava formiranje metalnih ili keramičkih materijala reakcijama u gasnoj{0}} fazi.
Priprema optičkog materijala:
Omogućava sintezu prozirnih optičkih materijala, koji se kasnije koriste u proizvodnji optičkih uređaja, optičkih premaza i sličnih komponenti.
Dizajn konstrukcije:
Tijelo peći CVD cijevne peći obično ima dvostruku-konstrukciju.
Ventilator za hlađenje je instaliran unutar šupljine između unutrašnjeg i vanjskog omotača kako bi se olakšali brzi ciklusi zagrijavanja i hlađenja, a istovremeno osigurava da površinska temperatura omotača peći ostane niska.
Sama cijev peći je tipično izrađena od materijala visoke -čistoće (kao što je korund visoke{1}} čistoće).
Oba kraja cijevi su zapečaćena pomoću visoko-vakuumskih prirubnica od nehrđajućeg čelika kako bi se osigurala plino{1}}nepropusnost i robusna otpornost na visoke{2}}temperature.
Kontrola temperature i atmosfere:
Sistem je sposoban da precizno kontroliše i unutrašnju temperaturu i sastav atmosfere unutar peći kako bi zadovoljio specifične zahteve različitih materijala i protokola obrade.
Opremljen je preciznim sistemom kontrole protoka gasa (kao što su ručni plutajući mjerači protoka ili visoko{0}}precizni regulatori masenog protoka) kako bi se zadovoljili specifični procesni zahtjevi povezani s različitim zaštitnim atmosferama. Visoka efikasnost i ušteda energije:
Koristi visoko{0}}efikasne materijale za oblaganje peći{1}}koji štede energiju (kao što su polikristalna aluminijska vlakna) za poboljšanje efikasnosti korištenja energije.